Нормативные документы размещены исключительно с целью ознакомления учащихся ВУЗов, техникумов и училищ.
Объявления:
Нормативные документы - главная страница

ГОСТ 25196-82 - Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования

Настоящий стандарт распространяется на установки для ионной имплантации, предназначенные для внедрения ионов твердых, газообразных и жидких веществ массой от 1,666 57х10 в ст. минус 27 до 217,534 67х10 в ст. минус 27 кг (от 1 до 131 а. е. м.), в том числе элементарных и многозарядных ионов бора, фосфора, цинка, мышьяка, селена и сурьмы с эквивалентной энергией ионов от 1,6х10 в ст. минус 15 до 1,6х10 в ст. минус 13 Дж (от 10 до 1200 кэВ) при изготовлении полупроводниковых приборов, интегральных схем и других изделий микроэлектроники
Наименование документа:ГОСТ 25196-82
Тип документа:стандарт
Статус документа:действующий
Название рус.:Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования
Название англ.:Vacuum equipment. Apparatus for ion implantation. General technical requirements
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата введения:30.06.1983
Дата актуализации описания:01.08.2013
Кол-во страниц в основном тексте документа:3 шт.
Дата издания:04.05.1982
Переиздание:
Дата последнего изменения:22.05.2013
Расположен в:
  ОКС Общероссийский классификатор стандартов
  23 ГИДРАВЛИЧЕСКИЕ И ПНЕВМАТИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ И КОМПОНЕНТЫ ОБЩЕГО НАЗНАЧЕНИЯ (Измерение потока жидкости см.: 17.120)
  23.160 Вакуумная технология (Включая вакуумные насосы)

  КГС Классификатор государственных стандартов
  Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь
  Э7 Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники
  Э71 Технологическое оборудование для изготовления изделий электронной и радиопромышленности

ГОСТ 25196-82. Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования. Страница 1
ГОСТ 25196-82. Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования. Страница 2
ГОСТ 25196-82. Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования. Страница 3


Навигационное меню:

  ОКП
     Строительный каталог
2008-2013. ГОСТы, СНиПы, СанПиНы - Нормативные документы - стандарты. ГОСТ 25196-82, Оборудование вакуумное. Установки для ионной имплантации. Общие технические требования,