Нормативные документы размещены исключительно с целью ознакомления учащихся ВУЗов, техникумов и училищ.
Объявления:
Нормативные документы - главная страница

ГОСТ Р 8.640-2008 - Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки

Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик ультрафиолетового излучения - радиометры ультрафиолетового излучения, используемые в фотолитографии, и устанавливает методику их первичной и периодической поверок
Наименование документа:ГОСТ Р 8.640-2008
Тип документа:стандарт
Статус документа:действующий
Название рус.:Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки
Название англ.:State sysem for ensuring the uniformity of measurements. Radiometers of ultraviolet radiation measurements for photolithography technological processes testing. Verification methods
Дата актуализации текста:01.08.2013
Дата введения:01.01.2009
Дата актуализации описания:01.08.2013
Кол-во страниц в основном тексте документа:15 шт.
Дата издания:15.05.2008
Переиздание:
Дата последнего изменения:22.05.2013
Расположен в:
  ОКС Общероссийский классификатор стандартов
  17 МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ
  17.020 Метрология и измерения в целом (Включая измерительные приборы в целом, предпочтительные числа, эталонные меры, общие аспекты эталонных материалов и т. д. ;Величины и единицы измерений см.: 01.060 ;Химические эталонные материалы см.: 71.040.30)

  КГС Классификатор государственных стандартов
  Т Общетехнические и организационно-методические стандарты
  Т8 Государственная система измерений
  Т84 Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы

   Тематические сборники
  ГСОЕИ Государственная система обеспечения единства измерений.

ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 1
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 2
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 3
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 4
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 5
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 6
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 7
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 8
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 9
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 10
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 11
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 12
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 13
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 14
ГОСТ Р 8.640-2008. Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки. Страница 15


Навигационное меню:

  ОКП
     Строительный каталог
2008-2013. ГОСТы, СНиПы, СанПиНы - Нормативные документы - стандарты. ГОСТ Р 8.640-2008, Государственная система обеспечения единства измерений. Радиометры ультрафиолетового излучения для контроля технологических процессов в фотолитографии. Методика поверки,