Объявления:
ГОСТ Р 52250-2004 - Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия
Настоящий стандарт распространяется на резисты литографических процессов производства полупроводниковых приборов и интегральных микросхем| Наименование документа: | ГОСТ Р 52250-2004 |
| Тип документа: | стандарт |
| Статус документа: | действующий |
| Название рус.: | Материалы электронной техники. Резисты для литографических процессов. Общие технические условия |
| Название англ.: | Electronic engineering materials. Resists for lithography processes. General specifications |
| Дата актуализации текста: | 01.08.2013 |
| Дата введения: | 01.01.2005 |
| Дата актуализации описания: | 01.08.2013 |
| Кол-во страниц в основном тексте документа: | 31 шт. |
| Дата издания: | 02.07.2004 |
| Переиздание: | |
| Дата последнего изменения: | 22.05.2013 |
| Расположен в: |   ОКС Общероссийский классификатор стандартов 71 ХИМИЧЕСКАЯ ПРОМЫШЛЕННОСТЬ 71.080 Органические химические вещества 71.080.99 Органические химические вещества прочие КГС Классификатор государственных стандартов Э Электронная техника, радиоэлектроника и связь Э1 Радиотехнические материалы Э10 Классификация, номенклатура и общие нормы |
                               | |
